top of page
Signature_KMU4.jpg
KOOKMIN
국민대학교 산학협력단 공동기기원

국민대학교 공동기기원

Kookmin University

Cooperative Center for Research Facilities 

신규 장비 도입 및 오픈

가. 유도결합플라즈마식각장치
       ICP Etcher

2023년 10월 오픈

  • Maker. Oxford Instrument   

  • Model. Plasma Pro 80cobra65

 

<활용분야>

  • 유전체 etching

  • SiO2 반도체 etching

  • Silicon Bosch 및 Cryo-etch 공정

나. 주사전자현미경
       FE-SEM

2023년 12월 오픈

  • Maker. HITACHI      

  • Model. SU8700 
     

<활용분야>

  • 0.6nm/15kV, 0.8nm/1kV의 2차전자 분해능으로 고해상도 표면관찰

  • 65mm EDS를 통한 시료의 정성 및 정량분석

  • 저진공 검출기(UVD)를 통한 수분함유 시료관찰(식품, 바이오) 및 철강 등의 자성재료 관찰

다. 퓨리에변환 적외선 분광기
       FT-IR

2024년 03월 오픈

  • Maker. Thermo Scientific    

  • Model. Nicolet iS50
     

<활용분야>

  • 물질의 구조 확인

  • 반응 속도 및 반응 과정 연구

  • 유기 이물, 불량 분석 및 약물 분석

라. 플라즈마 화학기상 증착장비
      PECVD

2024년 03월 오픈

  • Maker. ㈜티티엘      

  • Model. FAB Star-P-1-6
     

<활용분야>

  • 플라즈마 에너지를 이용하여 비교적 저온에서의 SiOx 박막 증착

  • 높은 증착 속도와 균일한 박막 형성

  • 반도체/디스플레이 소자 제작에서 SiOx 박막을 활용한 절연막 및 보호막 형성

마. Maskless Photolithography

2024년 04월 오픈

  • Maker. Nanosystem Solution    

  • Model. DL-2500HPA2 
     

<활용분야>

  • 포토 마스크 없이 기판 위에 미세 패턴 구현이
    가능한 리소그래피

  • 반도체/디스플레이 소자에서 최소 1um 선폭의 레지스트 패턴 제작

  • 375nm 파장에서 반응하는 감광액을 적용한
    패터닝 공정

Signature_KMU4_edited.png

국민대학교 공동기기원

서울특별시 성북구 정릉로 77 (정릉동, 국민대학교) 국민대학교 산학협력관 406호 공동기기원

bottom of page